oxide Thin Film Transistor, Oxide TFT, 酸化物薄膜-

반도체층의 소재로 산화물 반도체를 사용한 박막 트랜지스터. 박막 트랜지스터(TFT)는 사용 소재에 따라 비결정 실리콘 박막 트랜지스터(a-Si TFT: amorphous Silicon TFT)와 다결정 실리콘 박막 트랜지스터(poli-Si TFT: polycrystalline- Silicon TFT)를 거쳐 산화물 박막 트랜지스터(oxide TFT)로 진화 중이다. 산화물 박막 트랜지 스터(oxide TFT)는 이동도가 비결정 실리콘(a-Si)보다 20∼50 배 이상 빠르고 누설 전류가 적 어 저전력으로 대면적, 고해상도 구현이 가능하다. 산화물은 상온에서 공정이 가능하여 플라 스틱 기판을 활용할 수 있기 때문에 산화물 박막 트랜지스터는 휘는(flexible) 디스플레이 구 현이 가능하고, 산화물이 투명하기 때문에 차세대 디스플레이로 각광받는 투명 디스플레이 실현도 가능한 소자이다. 이러한 우수한 특성 때문에 산화물 박막 트랜지스터(oxide TFT)는 액정 표시 장치(LCD), 능동 유기 발광 다이오드(AMOLED: Active Mode Organic Light Emitting Diode), 전자종이 패널 등으로 채택이 확산되고 있다.